据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机股票龙头股有：
冠石科技：龙头，3月17日收盘消息，冠石科技最新报46.420元，成交量443万手，总市值为34.11亿元。
公司2024年第三季度净利润-858.54万，同比上年增长率为-146.82%。
福晶科技：龙头，3月17日消息，福晶科技5日内股价下跌1.44%，最新报36.710元，成交量1015.37万手，总市值为172.63亿元。
福晶科技2024年第三季度季报显示，公司净利润5842.94万，同比上年增长率为9.47%。
茂莱光学：龙头，3月7日茂莱光学(688502)公布，截至15点，茂莱光学股价报272.810元，跌2.88%，市值为144.04亿元，近5日内股价下跌1.9%，成交金额2.76亿元。
茂莱光学2024年第三季度季报显示，公司实现净利润891.92万，同比上年增长率为15.76%。
同飞股份：龙头，3月17日收盘消息，同飞股份开盘报价47.48元，收盘于46.590元。7日内股价上涨0.11%，总市值为78.92亿元。
同飞股份2024年第三季度季报显示，公司实现净利润4787.8万，同比上年增长率为-35.16%。
百川股份：回顾近3个交易日，百川股份有2天上涨，期间整体上涨0.99%，最高价为7.88元，最低价为8.12元，总市值上涨了4754.03万元，上涨了0.99%。光刻机溶剂PMA。
上海新阳：上海新阳（300236）3日内股价1天上涨，上涨2.25%，最新报36.83元，2025年来下跌-1.47%。ARF光刻胶处于客户测试阶段。
南大光电：回顾近3个交易日，南大光电有1天上涨，期间整体上涨1.67%，最高价为36.55元，最低价为37.95元，总市值上涨了3.63亿元，上涨了1.67%。ARF光刻胶获部分客户认证。
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